TubeStar - дешевая трубчатая печь для тепловой обработки и LPCVD процессов. Она была специально разработана для экспериментального и малосерийного производства. Конструкция и цена делают ее подходящей для университетов и научно-исследовательских лабораторий.
Jipelec SiC - эта печь для высокотемпературной обработки карбидо кремниевых пластин при температуре до 2000`C.
JetClip sg низкотемпературная система быстрого теплового отжига (RTA), которая использует высоко-мощный ультрафиолетовый источник, для обеспечения уплотнения и кристаллизации при золь-гель, MOD и CSD процессах.
JetClip - RTP и RTCVD кластерная система для пластин диаметром до 200 мм. Охлаждаемая водой, полностью герметичная камера из нержавеющей стали с настроенными вакуумными и газовыми системами, обеспечивает высокочистую окружающую среду для большого диапазона процессов.
JetFirst и JetStar недорогие RTP системы для проведения RTA, RTO и RTN процессов. Они были специально разработаны для научно-исследовательских лабораторий и мелкосерийного производства. Измерения температуры и система управления обеспечивают точный и повторяемый температурный профиль. JetStar может быть модернизирована до автоматической системы.
JetPulse - эта система специально разработана для процессов обработки с низкими давлениями пара исходных веществ, что позволяет использовать чистые исходные вещества при MOCVD и CVD. Повторяемость характеристик, обеспечиваемая установкой, базируются на бесконтактном взрывном испарении материалов исходных веществ.
Представляем Вашему вниманию оборудование компании JIPELEC, входящую в состав QUALIFLOW Therm. Это оборудование используется в процессах: эпитаксии, диффузии, имплантации, RTA, RTO, RTN, RTD и других процессах.
Оборудование полупроводниковой промышленности
Комментариев нет:
Отправить комментарий